Kazalo:
- Opredelitev - Kaj pomeni ekstremna ultravijolična litografija (EUVL)?
- Tehopedija razlaga ekstremno ultravijolično litografijo (EUVL)
Opredelitev - Kaj pomeni ekstremna ultravijolična litografija (EUVL)?
Ekstremna ultravijolična litografija (EUVL) je napredna, zelo natančna tehnika litografije, ki omogoča izdelavo mikročipov z dovolj majhnimi funkcijami, da podpirajo 10 Ghz takt.
EUVL uporablja super napolnjen ksenonski plin, ki oddaja ultravijolično svetlobo in uporablja zelo natančna mikro ogledala, da svetlobo usmeri na silikonsko rezino, da ustvari še boljše širine funkcij.
Tehopedija razlaga ekstremno ultravijolično litografijo (EUVL)
V nasprotju s tem tehnologija EUVL uporablja vir ultravijolične svetlobe in leče za fokusiranje svetlobe. Zaradi omejenosti leč to ni tako natančno.
Postopek EUVL je naslednji:
- Laser je usmerjen na plin ksenon, ki ga segreje, da ustvari plazmo.
- Plazma seva svetlobo pri 13 nanometrih.
- Luč se zbere v kondenzatorju in nato usmeri na masko, ki vsebuje postavitev vezja. Maska je pravzaprav samo vzorčni prikaz posamezne plasti čipa. To je ustvarjeno tako, da na nekatere dele ogledala nanesete absorber, ne pa na druge dele in ustvarite vzorec vezja.
- Vzorec maske se odraža na seriji od štiri do šest ogledal, ki se postopoma manjšajo, da zmanjšajo velikost slike, preden se osredotoči na silikonsko rezino. Zrcalo rahlo upogne svetlobo, da tvori sliko, podobno kot nabor objektiv kamere, ki upogiba svetlobo in postavi sliko na film.
