Kazalo:
Opredelitev - Kaj pomeni Nanolitografija?
Nanolitografija je veja nanotehnologije in ime postopka za vtiskanje, pisanje ali jedkanje vzorcev na mikroskopski ravni, da bi ustvarili neverjetno majhne strukture. Ta postopek se običajno uporablja za ustvarjanje manjših in hitrejših elektronskih naprav, kot so mikro / nanočipi in procesorji. Nanolitografija se uporablja predvsem v različnih tehnoloških sektorjih, od elektronskih do biomedicinskih.Tehopedija razlaga Nanolitografijo
Nanolitografija je širok pojem, ki se uporablja za opisovanje različnih postopkov za ustvarjanje vzorcev nanodelcev na različnih nosilcih, med katerimi je najpogostejši silikon polprevodniškega materiala. Prevladujoči namen nanolitografije je krčenje elektronskih naprav, kar omogoča, da se več elektronskih delov vtisne v manjše prostore, to je manjše integrirane vezje, ki imajo za posledico manjše naprave, ki so hitrejše in cenejše za izdelavo, saj je potrebno manj materiala. S tem se tudi povečajo časi delovanja in odziva, ker morajo elektroni prehoditi le zelo kratke razdalje.
Nekatere tehnike, ki se uporabljajo v nanolithografiji, so naslednje:
- Rentgenska litografija - Izvedena s pristopom bližine tiskanja in se opira na rentgenske žarke blizu polja pri Fresnelovi difrakciji. Znano je, da optično ločljivost razširi na 15 nm.
- Dvojno vzorčenje - metoda, ki se uporablja za povečanje ločljivosti tona litografskega postopka s tiskanjem dodatnih vzorcev med presledki že natisnjenih vzorcev v isti plasti.
- Litografija z elektronskim snopom z neposrednim pisanjem (EBDW) - najpogostejši postopek, uporabljen v litografiji, ki za snovanje vzorcev uporablja snop elektronov.
- Ekstremna ultravijolična (EUV) litografija - oblika optične litografije, ki uporablja ultrasvetljevalne svetlobne valovne dolžine 13, 5 nm.
