Kazalo:
- Opredelitev - Kaj pomeni mikroelektromehanski sistem (MEMS)?
- Tehopedija razlaga mikroelektromehanski sistem (MEMS)
Opredelitev - Kaj pomeni mikroelektromehanski sistem (MEMS)?
Mikroelektromehanski sistem (MEMS) je majhen mehanski modul, ki ga poganja elektrika. NEMS združuje računalnike z mehanskimi moduli, kot so senzorji, aktuatorji in ogledala. So stroškovno učinkoviti sistemi, ki uporabljajo modificirano tehnologijo izdelave naprav.
MEMS ima različne načine uporabe in ponuja široko paleto pristopov k izdelavi izdelkov, pri čemer izkorišča različne komponente, miniaturizacijo in nove standardne integrirane elektromehanske sisteme. MEMS se lahko uporablja za vlažno jedkanje, kot je kalijev hidroksid (KOA), suho jedkanje, kot je globoko reaktivno-ionsko jedkanje (DRIE), oblikovanje in oblaganje, stroji za elektro praznjenje (EDM) in druge tehnologije, ki proizvajajo majhne naprave.
Mikroelektromehanski sistem se lahko imenuje tudi kot mikroelektronski sistem, mikromate, tehnologija mikrosistemov ali pametna snov.
Tehopedija razlaga mikroelektromehanski sistem (MEMS)
MEMS je lahko manjši od širine človeških dlak in lahko vključuje več sestavnih delov, kot so:
- Mikrosenzorji
- Mikroakumulatorji
- Mikroprocesorji
- Centralne enote za obdelavo podatkov
- Komponente za interakcijo z zunanjimi elementi
MEMS imajo veliko razmerje med površino in prostornino in so izdelani s tehnologijo izdelave silicija.
Naprava MEMS vključuje mikrovezje, ki je nameščeno na majhnem silikonskem čipu, ki se uporablja z mehanskimi komponentami. Tehnologija podpira veliko različnih naprav, ki nadzorujejo, zaznavajo ali aktivirajo mehanske procese, medtem ko delujejo kot matrika ali posamezno.
Trenutno MEMS v svojo arhitekturo vključuje en sam poseben mikrosenzor ali mikroakvator, vendar se v prihodnosti lahko pojavijo bolj zapletene stopnje asimilacije. Naslednji razvoj je morda vključitev številnih posameznih funkcij v en sistem.
